洁净室的正压的维持
盈蓝技术
1，维持洁净室正压的目的
《洁净厂房设计规范》GB 50073-2001中规定，“洁净室与周围的空间必须维持一定的压差，并应按生产工艺要求决定维持正压差或负压差”。还规定，“不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差应不小于5Pa，洁净区与室外的压差应不小于10Pa”。
维持洁净室的压差是为了防止周围比它低级别的洁净空间、非洁净空间或室外空气的渗入和倒灌，影响洁净室洁净度的重要措施。洁净室失去了正压，也可以说失去了洁净度，不称其洁净室了。由此可见维持洁净室正压的重要意义。洁净室的正压是指洁净室门窗关闭条件下的正压值。
2，洁净室的正压漏风量
洁净室正压是通过调节洁净室送风量要比回风量与排风量之和大一个正压漏风量而实现的。
洁净室的正压漏风量的大小，不仅与维持的正压值的大小有关，同时还与洁净室的密闭程度有关。
洁净室的正压漏风量可用缝隙法计算，也可用换气次数估计。
缝隙法宜按下式计算：
L正 = a·
l）
式中：L正 = 维持洁净室的正压值所需的正压漏风量。（m3/h）
a = 围护结构密封性的安全系数 a = 1.1~ 1.2
g = 洁净室为某一正压值时，围护结构单位长度缝隙的正压漏风量。（m3/h·m）
l = 围护结构的缝隙长度。
围护结构单位长度缝隙的正压漏风量q（m3/h·m）
门窗形式 压差（Pa） | 非常闭门 | 密闭门 | 单层固定密闭钢窗 | 单层格式密闭钢窗 | 传递窗 | 壁板 |
5 | 17 | 4 | 0.7 | 3.5 | 2.0 | 0.3 |
10 | 24 | 6 | 1.0 | 4.5 | 3.0 | 0.6 |
15 | 30 | 8 | 1.3 | 6.0 | 4.0 | 0.8 |
20 | 36 | 9 | 1.5 | 7.0 | 5.0 | 1.0 |
25 | 40 | 10 | 1.7 | 8.0 | 5.5 | 1.2 |
30 | 44 | 11 | 1.9 | 8.5 | 6.0 | 1.4 |
35 | 48 | 12 | 2.1 | 9.0 | 7.0 | 1.5 |
40 | 52 | 13 | 2.3 | 10.0 | 7.5 | 1.7 |
45 | 55 | 15 | 2.5 | 10.5 | 8.0 | 1.9 |
50 | 60 | 16 | 2.6 | 11.0 | 9.0 | 2.0 |
换气次数表
压差（Pa） 密封性能 | 5 | 10 | 15 | 20 | 25 | 30 | 35 | 40 | 45 | 50 |
有外窗密封性较差 | 0.9 | 1.5 | 2.2 | 3.0 | 3.6 | 4.0 | 4.5 | 5.0 | 5.7 | 6.5 |
有外窗密封性较好 | 0.7 | 1.2 | 1.8 | 2.5 | 3.0 | 3.3 | 3.8 | 4.2 | 4.7 | 5.3 |
无外窗土建围护 | 0.6 | 1.0 | 1.5 | 2.1 | 2.5 | 2.7 | 3.0 | 3.2 | 3.4 | 3.6 |
3，维持洁净室正压的方法
a、设机械余压阀，调节平衡重锤可使正压维持在所需的正压值，此方法简单方便，一般余压阀设置在洁净室的下风向侧，洁净室正压超过规定值时余压阀自动开启排风。这种方法较为常用。
b、用洁净室的正压值自动控制新风量和回风量，使之正压漏风量自动稳定在某一个数量，来稳定洁净室规定的正压值。这一方法较为先进，但投资较高。
c、用回风口加过滤网加阻尼的办法来实现洁净室的正压。方法简单，但维护很难，正压值很难维持不变。
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